| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)品型號(hào) | SM-110PO(Pro)/SM-110SO(Standard) |
|---|---|---|---|
| 測(cè)量原理 | 反射分光法(光學(xué)干涉法) | 測(cè)量膜厚范圍 | 0.1–100μm(Pro單層) |
| 多層測(cè)量 | Pro支持3層,Standard支持單層 | 測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 400–1000nm |
| 測(cè)量重復(fù)性 | 2.1σ<0.01μm(SiO? 1μm) | 測(cè)量光斑直徑 | Φ1mm及以下 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | CSV文件,可保存至U盤 | 主機(jī)尺寸 | 約H54×W138×D198mm |
| 主機(jī)重量 | 約1.1kg |
昊量光電/星朗浩宇Smart手持式膜厚測(cè)量?jī)x
便攜式現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量手持式膜厚儀,數(shù)據(jù)庫(kù)全,測(cè)量簡(jiǎn)便,快速現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量簡(jiǎn)單易上手!
便攜式現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量該產(chǎn)品Smart系列

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
昊量光電/星朗浩宇Smart手持式膜厚測(cè)量?jī)x是一款專為便攜式攜帶和測(cè)量開(kāi)發(fā)的即時(shí)測(cè)量解決方案。它采用光學(xué)干涉的原理測(cè)量薄膜厚度,無(wú)需校準(zhǔn)曲線即可隨時(shí)隨地對(duì)樣品進(jìn)行非破壞、非接觸式測(cè)量。
該產(chǎn)品采用反射分光法(光學(xué)干涉法)測(cè)量薄膜厚度。例如在測(cè)量基底上的薄膜時(shí),從樣品上方入射的光會(huì)在薄膜上發(fā)生發(fā)射,穿透薄膜的光會(huì)在基底與薄膜的界面處發(fā)生反射。通過(guò)測(cè)量不同反射光之間的光程差引起的相位差所產(chǎn)生的光學(xué)干涉現(xiàn)象,可根據(jù)測(cè)得的反射光譜與折射率計(jì)算出薄膜厚度。

該產(chǎn)品主機(jī)尺寸小,重量?jī)H有1.1kg,外出攜帶便攜,數(shù)據(jù)庫(kù)豐富,操作界面友好,初學(xué)者也能快速完成測(cè)量??筛鶕?jù)測(cè)量測(cè)量場(chǎng)景選擇配件,可測(cè)量狹窄區(qū)域樣品,非接觸樣品以及遠(yuǎn)離主機(jī)測(cè)量。
該產(chǎn)品產(chǎn)品特點(diǎn)
非接觸式、非破壞式測(cè)量
使用分光干涉法對(duì)樣品進(jìn)行非接觸、非破壞式的測(cè)量便攜、易于攜帶
主機(jī)尺寸較小,重量?jī)H約1.1kg,便于攜帶測(cè)量簡(jiǎn)便
擁有簡(jiǎn)潔直觀的UI設(shè)計(jì),初學(xué)者也能輕松完成測(cè)量可適配多層膜測(cè)量
Pro版手持測(cè)量?jī)x可支持測(cè)量3層薄膜無(wú)需檢量線
分光干涉法使得其在部分情況下可以無(wú)需設(shè)置檢量線直接進(jìn)行檢測(cè)
該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品型號(hào) | SM-110PO (Pro) | SM-110SO (Standard) |
測(cè)量原理 | 反射分光法(光學(xué)干涉法) | |
測(cè)量膜厚范圍 | 0.1–100 μm (單層), 1–100 μm (多層) | 1–50 μm (單層) |
支持多層測(cè)量 | 支持 3 層 | 單層 |
顯示反射率 / 功率譜 | 支持 | 不支持 |
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 400 – 1000 nm | |
測(cè)量重復(fù)性 | 2.1σ < 0.01 μm (SiO? 1 μm) | |
測(cè)量光斑直徑 | Φ1 mm 及以下 | |
數(shù)據(jù)輸出類型 | 可導(dǎo)出為 CSV 文件并保存至 U 盤 | |
主機(jī)尺寸 | 約 H54 × W138 × D198 mm (含突出部分) | |
主機(jī)重量 | 約 1.1 kg | |
SM-110PO (Pro)適用于多層薄膜的機(jī)型,SM-110SO (Standard)適用于單層薄膜的入門級(jí)機(jī)型。

該產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景
該產(chǎn)品可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)即使測(cè)量,如SiO2,SiN,光刻膠,氟樹(shù)脂聚酰亞胺,丙烯酸樹(shù)脂,有機(jī)硅,RET材料,TAC材料,PP材料等薄膜的測(cè)量。
問(wèn)答小貼士
對(duì)于遠(yuǎn)距離的場(chǎng)景或狹窄場(chǎng)景的樣品能測(cè)量嗎?
可以,該產(chǎn)品有多功能配件可選,有狹窄區(qū)域使用的筆型探頭,遠(yuǎn)離主機(jī)測(cè)量的長(zhǎng)光纖,用于非接觸測(cè)量的非接觸式平臺(tái),能夠適應(yīng)大多數(shù)場(chǎng)景的測(cè)量。SM-110PO (Pro)系列和SM-110SO (Standard)系列如何選擇?
SM-110PO (Pro)系列可以支持3層膜以下測(cè)量,SM-110SO (Standard)系列僅支持單層膜測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出嗎?
可以,該產(chǎn)品可以將數(shù)據(jù)保存到U盤,也能記錄歷史測(cè)量數(shù)據(jù)。
便攜式手持膜厚測(cè)量?jī)x,隨時(shí)隨地快速測(cè)量。







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