| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 | 產品類型 | 無碎屑激光等離子體軟X射線光源 |
| 靶氣 | 氪氣、氮氣、氙氣 | 重復頻率 | 20Hz |
| 光源功率穩定性 | ±1.5% | 波長范圍 | 1.5-6nm、2.16nm、2.48nm、2.88nm、13.0nm、13.5nm |
| 發射角 | 2π球面度 | 真空適配性 | ＜10??mbar |
| 激光安全等級 | 1級 | 設備占地面積 | 1m×1m |
| 輸出功率 | 氪氣200mW、氮氣10mW、氙氣70mW |
昊量/星朗XUV/EUV/VUV光源-緊湊型等離子體光源
無碎屑?高穩定?小體積 proLINE 重新定義桌面級 EUV / 軟 X 射線光源
proLINE 是昊量光電推出的緊湊型交鑰匙極紫外 / 軟 X 射線（EUV/SXR）光源，屬于桌面級束線光源產品。它基于無電極激光產生等離子體（LPP）技術，通過氪、氮、氙等靶氣激發等離子體輻射，覆蓋 1–20 nm（對應 60–1200 eV）的 XUV / 軟 X 射線波段，支持寬帶或單色化輸出，可通過切換靶氣與單色器參數實現快速、自動化的波長切換。
該光源占地僅 1m×1m，重復頻率 20Hz，激光安全等級為 1 級，可適配常規真空與超高真空（UHV）環境，是替代同步輻射、實現桌面級 EUV 實驗的成熟方案。
昊量/星朗XUV/EUV/VUV光源-緊湊型等離子體光源的核心優勢：
高光通量與高亮度：氪氣（1.5–6 nm）通量達 2×101? ph/s/sr，2π 立體角輸出功率 200mW；氙氣（13.0/13.5 nm）通量 7×101? ph/s/sr
高穩定與低維護：采用無電極設計實現低碎屑（debris-free）運行，光源功率長期穩定性可達 ±1.5%，降低設備運維精力
緊湊易用，低成本：1m×1m 的桌面級占地面積，交鑰匙式設計無需復雜調試，同時可選配集成診斷模塊，操作門檻低
靈活可擴展，支持定制
該產品的核心參數：
| 項目 | 參數 |
| 產品類型 | 無碎屑激光等離子體軟 X 射線光源 |
| 靶氣 | 氪氣、氮氣、氙氣（可按需定制其他氣體） |
| 重復頻率 | 20Hz |
| 光源功率穩定性 | ±1.5% |
| 波長范圍 | 1.5-6nm、2.16nm、2.48nm、2.88nm、13.0nm、13.5nm（可按需定制其他波長） |
| 發射角 | 2π 球面度（可選配聚焦單元） |
| 真空適配性 | ＜10?? mbar（可提供超高真空 UHV 版本） |
| 激光安全等級 | 1 級 |
| 設備占地面積 | 1m × 1m |
| 參數 | 氪氣（krypton） | 氮氣（nitrogen） | 氙氣（xenon） |
| 波長范圍 | 1.5-6nm | 2.48nm、2.88nm | 13.0nm、13.5nm |
| 光子通量 | 2×101?ph/s/sr （1×1013ph/s/sr@450eV） | 1×101?ph/s/sr | 7×101?ph/s/sr |
| 輸出功率（2π 立體角內） | 200mW | 10mW | 70mW |
| 250μm 聚焦光斑內單色通量（2% 帶寬） | 7×101?ph/s/m2 | 2×101?ph/s/m2 | 2×1022ph/s/m2 |
/EUV/VUV光源-緊湊型等離子體光源的應用領域：
EUV 計量與掩模缺陷檢測
光刻膠材料研發與表征
EUV 顯微成像、水窗波段生物顯微成像
Blue-X 相關研究
等離子體物理、表面科學等基礎研究
同步輻射風格的桌面級 XUV / 軟 X 射線實驗
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