| 品牌 | 其他品牌 | 能量范圍 | 0.5–50 keV |
|---|---|---|---|
| 低能優化窗口 | 500 eV–3 keV | 掃描速率 | 100 MHz（像素駐留10 ns） |
| 信號下降時間 | <10 ns（Advanced模塊） | 幾何收集效率 | 達80%（BSD-420），定制可達85% |
| 探測器面積范圍 | 40–420 mm2（標準），可定制 | 可用分段/環數 | 4段/1–2環，可定制 |
| 前置放大器 | 獨立或集成4通道 | 主放大器 | MA-PN4/MA-PN99 |
| 適配平臺 | 各品牌SEM掃描電子顯微鏡 |
昊量光電/星朗浩宇背散射電子探測器（BSD）
覆蓋0.5 keV至300 keV，響應速度快，高度訂制靈活性！
昊量光電/星朗浩宇背散射電子探測器（BSD）系統為掃描電子顯微鏡（SEM）中的 BSE 圖像采集提供了完整的一站式解決方案。整個系統包含探測器、高速信號處理電子學以及可伸縮機械組件，可輕松安裝于任何品牌的 SEM 中。
該產品的特點：
◆ 低噪聲特性
低暗電流和低信號電容值確保了在低束流條件下對敏感樣品進行低噪聲成像，圖像質量清晰。
◆ 超高檢測速度
集成 4 通道前置放大器與低信號電容設計，實現超越 TV 幀率的超快成像，掃描速率高達 100 MHz。
◆ 低 keV 性能優異
持續優化的輻射入射窗口，在 500 eV – 3 keV 低能量范圍內保持出色效率，并減少樣品損傷。所有探測器窗口均耐輻射。
◆ 高收集效率
優化的芯片技術與幾何設計帶來更高的信號強度。幾何收集效率高達 85%，實現高對比度和優異的信噪比。
◆ 短工作距離兼容
扁平鋁制外殼設計，可在短工作距離下進行成像，靈活適配各類 SEM 腔室空間。
◆ 多樣化幾何配置
提供多種 BSD 二極管類型，可安裝于標準或特定外殼中。支持不同芯片幾何形狀以適配各類應用場景。
◆ 完整系統方案
從探測器、前置放大器、定位系統到主放大器，提供交鑰匙式完整 BSE 成像系統。
該產品主要參數：
| 能量范圍 | 0.5 – 50 keV |
| 低能優化窗口 | 500 eV – 3 keV |
| 掃描速率 | 100 MHz（像素駐留 10 ns） |
| 信號下降時間 | < 10 ns（Advanced模塊） |
| 幾何收集效率 | 達 80%（BSD-420），定制可達 85% |
| 探測器面積范圍 | 40 – 420 mm2（標準），可定制 |
| 可用分段/環數 | 4 段 / 1–2 環，可定制 |
| 前置放大器 | 獨立 4 通道（Standard）/ 集成 4 通道（Advanced） |
| 定位系統 | 手動伸縮臂 V1（快速）/ V2（高精度） |
| 主放大器 | MA-PN4 / MA-PN99 |
| 適配平臺 | 各品牌 SEM（掃描電子顯微鏡） |
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