昊量光電/星朗浩宇超高速分光干涉膜厚儀

高速實時測量，光學厚度范圍15~4500 μm，適用界面粗糙、厚度不均薄膜，可穿透窗材、透過水膜測量

非接觸式高速、高精度、高再現性小型化機身分光干涉膜厚分析系統

產品簡介

昊量光電/星朗浩宇超高速分光干涉膜厚儀（SF-3）是一款基于光的干涉原理進行膜厚測量的系統，當光照射到測量對象（基板），表面反射的光和底部反射的光相互形成干涉（多重反射）。光的相位一致則強度加強，相位存在偏差則強度減弱。隨著波長的變化，可以觀測到反射強度變化的干涉條紋波形，通過解析這種波形求得膜厚。SF-3膜厚解析主要采用周波數解析法，結合專有的折射率n的波長分散性進行解析，可得到高精度、接近真實的膜厚值。

SF-3可應用于多種測量場景，搭載約 20μm 微小測量光斑，可應對帶圖案晶圓、界面粗糙、涂層不均、粒子分散等復雜被測樣品，無需制作檢量線，支持多層膜同步解析。同時SF-3能夠在穿透窗材中進行長距離測量，也可以在水中透過水膜測量。

SF-3具有小型化機身，便于安裝和移動；測量厚度范圍廣，光學厚度測量范圍可達15 μm ~ 4500 μm；實時測量速度快，采樣周期（MIN）可達 5kHz，測定取樣周期在1 m sec以下，可實時追蹤產線移動工件厚度變化，輸出帶時間戳精密膜厚數據；重復測量精度高，標準偏差在0.01%以下；測定距離廣，測定距離可從50 mm - 200 mm。

該產品核心特點

• 非接觸式、非破壞式測量

  使用分光干涉法對樣品進行無接觸、非破壞的測量

  
  

• 高度再現性

  多次重復測量之間的誤差小，精度高，1000 μm 基準樣品重復二十次標準偏差在0.003 μm 以內

  
  

• 較長的工作距離

擁有較長的work distance，方便嵌入制造設備

• 多層膜對應

可利用分光干涉的原理對應測量多層薄膜厚度

• 無需檢量線

分光干涉法使得其在部分情況下可以無需設置檢量線直接進行檢測

• 高速且即時的研磨檢測

能以正確的間距測量移動測定對象，高速追蹤時移變化，正確的測定取樣周期，高度適配工廠的生產線

該產品參數指標

?*¹?測定條件和解析條件不同，取樣周期不同

?*²?產品出庫基準的保證值規格，本司基準樣品AirGap約300μm與約1000μm測定時的相對標準偏差（n=20）

?^*3?WD50mm 探頭式樣的設計值

???測定薄膜時使用

CE 取得品為 SF-3/300、SF-3/1300

該產品應用場景

該產品可用于薄膜厚度測量、SiO2膜厚測定、背面粗糙測量、界面粗糙測量、厚度不均測量、功能性粒子分散測量、帶圖案圓鏡測量、穿透窗材測量、水中測量、透明水膜測量、
存儲材料測量、光學材料測量、樹脂測量、半導體材料測量、晶圓測量、電解基膜測量、防水膜測量。

問答小貼士

1. 該產品主要用來做什么？
   
   主要用于薄膜厚度和襯底的測量，應用于各種制造工序，可對應客戶的廣泛需求。

   

   
   

2. 它和普通膜厚儀有什么區別？
   
   它式采用分光干涉原理進行測量的圓晶膜厚儀，其測量精度更高，能夠進行無接觸測量和多層薄膜測量。

   
   

3. 它能夠測量粗糙的樣品嗎？
   
   可以測量，它具有良好的耐粗糙能力，能夠測量背面粗糙樣品、界面粗糙樣品、厚度不均勻樣品、功能性粒子分散樣品和帶圖案晶圓樣品等。

   
   

4. 它能進行穿透測量嗎？
   
   可以，它能夠在穿透窗材中進行長距離測量，也可以在水中透過水膜測量。

   
   
   
   

5. 測量速度如何？
   
   測量頻率可達5 kHz，測量時間低至200 μ sec每點。

   
   

6. 有區域掃描功能嗎？
   
   有，該產品可選配帶R-Θ驅動的位移臺或帶X-Y驅動的位移臺，能夠進行自動Mapping。
   

   
   

該產品采用非接觸、非破壞式分光干涉測量技術，可快速分析膜厚。