| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
DUV汞氙燈照明光源
昊量光電新推出汞-氙混合氣體放電紫外照明光源，因其高穩(wěn)定直流電源驅(qū)動控制，而且沒有熱漂移，所以能提供穩(wěn)定的紫外照明。它允許對燈泡、反射鏡和集光器進(jìn)行精確、可重復(fù)的調(diào)整，能實現(xiàn)很好的對準(zhǔn)。非常適合用于晶圓檢測、光學(xué)檢查和光掩模分析，特別是用于檢測精細(xì)的結(jié)構(gòu)和線寬是否有錯誤和缺陷。
DUV汞氙燈照明光源產(chǎn)品的特點：
無熱漂移
可重復(fù)的機械調(diào)節(jié)
點火器集成在燈罩中
緊湊的燈箱
安全電路功能
應(yīng)用的領(lǐng)域：
光罩的光學(xué)檢查和分析用照明，特別是結(jié)構(gòu)和線寬的錯誤或缺陷
晶圓檢測
凈化去污
無集光器燈罩lh-qx 100.60的深紫外光譜光譜
| 燈罩lh-qx-100.60 | |
| 固定方式 | 燈罩通過法蘭或燕尾，燈頭通過燈頭適配器進(jìn)行X、Y調(diào)節(jié) |
| 點火裝置 | 集成高壓點火裝置 |
| 反射器 | X, Y, Z可調(diào)節(jié)反射鏡 |
| 集光器 | Z軸可調(diào)節(jié) |
| 安全 | 符合EN 61010-1 |
| 設(shè)備防護(hù)等級 | I |
| 防護(hù)等級 | IP 20 (EN 60529) |
| 安全電路 | 有 |
| 鎮(zhèn)流器 ebqx 100 | |
| 特點 | 控制100 W 汞氙燈泡 |
| 燈泡型號 | HAMAMATSU L8029-01, L2422-01 |
| 燈泡連接 | M1 6+PE socket, Schaltbau |
| 安全 | 安全電路，過溫保護(hù) |
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